洁净室OHS区域风速及邻近地板开孔率对气流的影响
Influence of OHS area air velocities and adjacent floor opening rates on airflow in cleanrooms
摘要：
以实际洁净室工程为研究对象，采用CFD技术模拟研究了空中行走式穿梭车（OHS）区域不同送风风速及其邻近区域地板开孔率对洁净室气流组织的影响。结果表明：随着OHS区域送风风速的增大，气流偏转区域呈现先减小后增大趋势，当送风风速为0.4 m/s时，偏转最小，气流接近垂直单向流；在x=293 m和x=334 m截面，OHS邻近区域地板开孔率分别为17%、25%时，整场气流接近垂直单向流。现场实测验证了模拟结果的准确性。
关键词：洁净室；OHS；CFD模拟；送风风速；地板开孔率；气流组织
